簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "none".ecommittee (精準) and cdept.raw="自動化及控制研究所" and cadvisor.raw="郭鴻飛"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    以數位微影定義非平面圖案之開發
    • 自動化及控制研究所 /105/ 碩士
    • 研究生: 高貫軒 指導教授: 郭鴻飛
    • 曝光微影技術是印刷電路板(printed circuit board, PCB)製程中的重要技術之一,近年來製程中對精密度要求不斷提高,並要求更高解析度更小的線寬,使得傳統接觸印刷製程之缺點越來越明…
    • 點閱:1792下載:10

    2

    有限時域差分法解析高介電層金屬閘製程疊層光柵之繞射效率
    • 自動化及控制研究所 /100/ 碩士
    • 研究生: 陳盈佑 指導教授: 郭鴻飛
    • 在半導體奈米量測自動化設備中,光學散射量測儀被視為取代傳統電子顯微鏡擷取微影圖案關鍵尺寸的重要技術,光學散射量測法的優點包含:量測速度快約為現有電子顯微鏡的三倍,可重複性量測同一微影圖案之關鍵尺寸,…
    • 點閱:370下載:6
    1